據杭州日報， 近日，位于杭州城西科創(chuàng )大走廊的浙江大學(xué)成果轉化基地傳出喜訊：作為基地首批簽約孵化項目之一，全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機“羲之”已進(jìn)入應用測試，其精度比肩國際主流設備，標志著(zhù)量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。

　　在測試現場(chǎng)，浙大余杭量子研究院相關(guān)團隊緊張忙碌著(zhù)，一臺模樣酷似大型鋼柜的機器正在做應用測試，電子顯示屏上不斷閃爍著(zhù)實(shí)時(shí)參數�！斑@不是普通的機器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團隊負責人告訴記者，依托省重點(diǎn)實(shí)驗室，這臺研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式投入市場(chǎng)。

　　“羲之”取名自書(shū)法家王羲之，“只不過(guò)我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫(xiě)電路�！毖邪l(fā)團隊相關(guān)負責人介紹，這臺設備專(zhuān)攻量子芯片、新型半導體研發(fā)的核心環(huán)節，它通過(guò)高能電子束在硅基上“手寫(xiě)”電路，精度達到0.6nm，線(xiàn)寬8nm，可靈活修改設計無(wú)須掩膜版，如同用納米級毛筆在芯片上精準作畫(huà)，特別適合芯片研發(fā)初期的反復調試。

　　此前，此類(lèi)設備受?chē)�際出口管制，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、之江實(shí)驗室等國內頂尖科研機構長(cháng)期無(wú)法采購，“羲之”的落地有望打破這一困局。記者了解到，其定價(jià)低于國際均價(jià)，目前已與多家企業(yè)及科研機構展開(kāi)接洽。

　　“羲之”的成功并非孤例，其背后是科技創(chuàng )新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新“兩新融合”的強力驅動(dòng)。今年7月，省級教育科技人才一體改革專(zhuān)項試點(diǎn)項目落地位于余杭區的浙江大學(xué)校友企業(yè)總部經(jīng)濟園，浙江大學(xué)與該園聯(lián)手搭建了成果轉化高速路：園區企業(yè)開(kāi)出“技術(shù)需求清單”；浙大教授帶研究生組隊“揭榜”；從實(shí)驗室樣品到量產(chǎn)產(chǎn)品，全流程陪跑。

　　在城西科創(chuàng )大走廊，這樣的融合正成為常態(tài)。院士工作站落地城投未來(lái)之星辦公樓，無(wú)縫對接企業(yè)需求；城西科創(chuàng )大走廊連年推出優(yōu)秀概念驗證項目征集，打通成果轉化的“最前一公里”。接下去，城西科創(chuàng )大走廊將持續推動(dòng)“兩新融合”，為硬科技突破加速賦能，推動(dòng)科技成果高效轉化為現實(shí)生產(chǎn)力。